Intel กำลังจะเปิดตัวเทคโนโลยีโหนดกระบวนการที่ใหม่กว่าในอีกไม่กี่ปีข้างหน้าในการพัฒนาลดขนาดนาโนเมตรลงตั้งแต่ปี ค.ศ. 2021 เป็นต้นมาโดยเริ่มจากโปรเซสเซอร์ซีรีส์ Alder Lake Intel 7 ยังถูกใช้ในชิปเซ็ต Raptor Lake, Sapphire Rapids, Xe-HP และ Xe-HPC

Intel กำลังมองไปสู่อนาคตด้วยโหนดกระบวนการใหม่สำหรับการผลิตจำนวนมากโดยเริ่มส่วนแรกของปีหน้าค.ศ. 2025 จะสามารถลดขนาดทะลุลงได้มากกว่า 3 นาโนเมตรได้แล้วโดยตั้งเป้าหมายไว้ที่ 1.4 นาโนเมตรก่อนเป็นอันดับแรกก่อนจะลดขนาดลงให้ได้ตามเป้าหมาย 1 นาโนเมตร
หากนับตามแผน ASML ดังกล่างคาดว่าจะแตะการลดทอนระดับการผลิตลงไปที่ 1 นาโนเมตรภายในปี 2028 แต่อาจจะเป็นแผนแบบคร่างวๆ เนื่องาจาก INTEL ยังต้องวิจัยกระบวนการ 14A เจนเนอเรชันแห่งอนาคต หรือก็คือกระบวนการผลิตระดับ 1.4 นาโนเมตรก่อนภายในปีนี้

โดยเครื่องผลิต CPU รุ่นใหม่อย่าง EUV 0.55 NA นั้นมีการวางแผนไว้สำหรับการผลิต 1.5 -1.4 นาโนเมตรและ ต้องลดให้ต่ำกว่า 1 นาโนเมตรได้ภายในปี 2025
เทคโนโลยีการเครื่องพิมพ์ EUV เป็นปัจจัยสำคัญในการการวิจัยเพื่อปรับปรุงกระบวนการและเพิ่มต้นทุนการผลิตรวมถึงต้นทุนในการสร้างเครื่องจักรใหม่เพื่อสร้างโหนดกระบวนการใหม่ ปัจจุบัน เครื่องพิมพ์ EUV มีราคาเกือบ 150 ล้านดอลลาร์ โดยต้นทุนการเก็งกำไรจะเพิ่มขึ้นเป็น 400 ล้านดอลลาร์ทุกครั้งเนื่องจากการจัดส่งในแต่ละครั้งนั้นกินเวลาในการติดตั้งค่อนข้างมาก ทั้งหมดยังไม่รวมมูลค่าการขนส่งในการติดตั้ง
เครื่องพิมพ์หิน ASML EUV ใหม่ล่าสุดที่กำลังพัฒนาอยู่คือรุ่น EXE:5000 ซึ่งจะรองรับเทคโนโลยี High NA ภายในปี 2569 ซึ่งจะตรงกับแผนของ Intel สำหรับ 18A
Intel ยังไม่ได้ประกาศอย่างเป็นทางการเกี่ยวกับการพัฒนาเจเนอเรชันใหม่ล่าสุดสองรุ่น (20A และ 18A) แต่มีข่าวลือว่ายักษ์ใหญ่ด้านเทคโนโลยีกำลังอยู่ในขั้นตอนของการพัฒนา ซึ่งจะตรงกับแผน 5 ปีที่สร้างขึ้นในปี 2021

